Литографические машины ASML, предназначенные для создания полупроводников, нашли неожиданное применение благодаря компании IMEC. Они научились использовать эти системы для производства нанопор — отверстий, диаметром всего несколько нанометров, что в десятки тысяч раз тоньше человеческого волоса. Эти крошечные поры имеют потенциал в биомедицине, включая секвенирование ДНК, создание датчиков и доставку лекарств.
IMEC разработал метод массового производства нанопор с помощью высокоразрешающей EUV-литографии, что позволяет создавать точные и однородные массивы на 300-миллиметровых пластинах из нитрида кремния. Это достижение было представлено на Международной конференции по электронным устройствам IEEE 2025 и открывает путь к внедрению нанопор в клиническую практику.
Такое новшество может привести к революции в диагностике и персонализированной медицине, улучшая доступность и точность медицинских тестов, а также способствуя развитию геномики и хранению молекулярных данных.